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非蒸散型吸氣泵

非蒸散型吸氣泵多用鋯鋁合金吸氣材料（84%鋯、16%鋁）在高溫下吸附活性氣體的特性而制成的泵。該泵結(jié)構(gòu)簡單，體積小，造價(jià)低，操作安全可靠，維修方便，清潔無油。對活性氣體尤其是對氫具有很高的抽氣能力。但不能抽惰性氣體。此外還有一種鋯釩鐵合金材料（70%鋯，24.6%釩，5.4%鐵）作為吸氣劑的活化溫度450℃，室下對活性氣體具有較大的抽速。

鋯鋁泵對氫及其同位素氘、氚的吸氣是可逆的，而對其他活性氣體的吸氣是以穩(wěn)定的化學(xué)物擴(kuò)散到吸氣劑體內(nèi)，但存在飽和壽命問題。在10-8~1Pa壓力范圍內(nèi)抽青速率幾乎保持恒定。對氣體活性氣體CO、CO2、O2、N2、H2O等的吸氣抽率，在壓力低于10-3Pa時(shí)，在400℃溫度下達(dá)到飽和。該泵對活性氣體的吸氣速率隨著吸氣劑吸氣量的增加而降低。當(dāng)吸氣速率隨著吸氣量的增加而達(dá)到名義抽速的80%時(shí)，要在高溫下再激活處理。在激活的次數(shù)一般可達(dá)20次。

這種泵可用在受控裝置中儲存和釋放H2及其同位素氘、氚；在高等加速器的真空系統(tǒng)中與分子泵或?yàn)R射離子泵同時(shí)工作，能提高真空系統(tǒng)的極限真空；還可以用于轉(zhuǎn)運(yùn)H2及其同位素；用在超高真空裝置時(shí)，連同裝置一起放進(jìn)烘烤裝置中，不用外加電源便可作烘烤時(shí)的維持泵使用；也可用于濺射離子泵的啟用。