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電真空工藝對(duì)環(huán)境的要求

由于電真空結(jié)構(gòu)材料除機(jī)械性能和加工性能外，還要滿足其它性能的要求:容易除氣、低的飽和蒸氣壓、一定的化學(xué)穩(wěn)定性、一定的純度和清潔度，要有合適的輻射能力、溫度性質(zhì)和光學(xué)性質(zhì)等。所以電真空工藝具有特殊性，對(duì)清潔處理要求是嚴(yán)格的，應(yīng)最大限度清除或減少零件的污染。

電子管的生產(chǎn)、管子的裝架和零件處理必須在封閉良好的房間里進(jìn)行。房間里的墻壁和天花板都用高質(zhì)量的半光澤的韌性油漆涂覆。地面用干凈且打上蠟的瀝青合成物或磨砂瓷磚鋪蓋。空氣必須經(jīng)過兩級(jí)或多級(jí)過濾。相對(duì)濕度保持在50%以下。

在進(jìn)行精密裝架的房間里，人員往來應(yīng)盡可能少。零件和其它用品通過滑動(dòng)櫥門送人。精密裝架的房間與空調(diào)的大房間隔開。里屋的空氣要進(jìn)一步過濾。除空調(diào)器和過濾器開口外，墻壁、地板、天花板以及門必須盡可能封閉嚴(yán)實(shí)。墻上灰泥、建筑板、木板以及水泥等建筑材料都均勻地涂上光澤的或半光澤的高級(jí)油漆。

對(duì)于有特殊要求的工作，要用干燥箱來防止用其它方法未能阻擋的沾污物(操作者的呼吸物、頭皮等)。當(dāng)需要時(shí)，如在處理待激活的陰極表面時(shí)，干燥箱也只能使用特定的惰性氣體。

為適合集成電路工藝生產(chǎn)的需要，生產(chǎn)車間應(yīng)達(dá)到相應(yīng)的潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。