1.抽氣速率(體積流率)(s單位:m3·min-1、m3·s-1、L·s-1):當(dāng)泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作時(shí),從試驗(yàn)罩流過(guò)的氣體流量與在試驗(yàn)罩上指定位置測(cè)得的平衡壓力之比。簡(jiǎn)稱(chēng)泵的抽速。即在一定的壓力、溫度下,真空泵在單位時(shí)間內(nèi)從被抽容器中抽走的氣體體積。
2.極限壓力(極限真空)(單位:Pa/MPa/mmHg):泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作,在不引入氣體正常工作的情況下,趨向穩(wěn)定的最低壓力。即真空泵的入口端經(jīng)過(guò)充分抽氣后所能達(dá)到的最低的穩(wěn)定的壓力。
3.起動(dòng)壓力:泵無(wú)損壞起動(dòng)并有抽氣作用的壓力
4.前級(jí)壓力:排氣壓力低于一個(gè)大氣壓力的真空泵的出口壓力。
5.最大前級(jí):壓力超過(guò)了能使泵損壞的前級(jí)壓力。
6.最大工作壓力:對(duì)應(yīng)最大抽氣量的入口壓力。在此壓力下,泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞·
7.抽氣量(Q單位:Pa·m3·S-1;Pa·L·S-1):流經(jīng)泵入口的氣體流量。
8.壓縮比:泵對(duì)給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。
綜上所述:真空泵的抽氣速率和極限壓力兩個(gè)參量是在實(shí)際應(yīng)用中選配真空泵的最重要的參量。
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